浅层气浮设备选购技巧

　　气浮垫(平面空气静压轴承、止推空气轴承)广泛应用于高精度设备中，比如集成电路生产设备、平面显示器生产设备、半导体生产设备、电子生产设备、太阳能电池生产设备、新型元器件生产设备、检验和测量设备以及高精度机床等。气浮垫是静压气浮导轨的重要组成部件，在工作过程中起承载和导向之作用，它决定了气浮设备的精度和性能，因此在设计时气浮垫的选择是十分关键的。

　　1)承载能力。

　　足够的承载能力可确保气浮垫将系统“浮”起来，这是基本的要求。选择时应注意比较不同厂商气浮垫在同样条件下(气隙、供气压力)的承载能力;

　　2)刚度(static stiffness 和 tilt stiffness)。

　　足够的刚度是保证气浮系统在设计条件下稳定工作的必要条件。选择时一般考虑静刚度(static stiffness )，但有些情况下也必须考虑倾侧刚度(tilt stiffness)，否则系统可能无法达到设计性能指标要求。

　　性能稳定性。

　　有些气浮垫在使用的过程中性能指标会发生较大的变化，即便是使用条件(温度、角度、气隙等)发生了很小的变化;

　　气浮设备选购技巧 气浮的原理悬浮物表面有亲水和憎水之分。 憎水性颗粒表面容易附着气泡， 因而可用气浮法。亲水性颗粒用适当的化学药品处理后可以转为憎水性。

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